第371章 光刻胶一代样品!杰出的洁净度数据! (第2/3页)
其他钻核心专家组的人,也都是来到实验室观看。
紧接着。
在众人的注视下,林决上前将它用工具拿起,放到一个容器皿中封上。
林决仔细看了看。
发现这个初代光刻胶材料质地均匀,没有一丝絮状沉淀。
他轻轻晃动容器皿,然后便见的光刻胶开始跟着晃动。
“袁教授,测试一下看看呢......”
说着,林决将东西递给袁泽成。
“行。”
袁泽成点了点头。
因为知道今天第一款样机出来,所以项目组早就让人备好了测试流程。
“小张,上流式图像颗粒分析仪!”
“收到!”
测试小组众人动了起来,将颗粒分析仪校准到初始数值。
这个阶段,主要是测试光刻胶材料的洁净度,看有多少0.1微米以上的固体颗粒。
国际量产EUV光刻胶指标目前是,每10毫升中,标准颗粒小于等于1个。
而在这之前。
谷方绪带领团队研发的光刻胶。
能够达到极限的数据是,每10ml中有8个大于0.1微米颗粒......
下一刻。
众人便见操作人员又取了新的样品,将其装入密封舱,然后又用微量精密柱塞泵匀速推送胶液,让液体以稳定薄层流过透明的检视视窗。
紧接着,便是高速同步光源频闪。
通过搭配高倍率显微镜,高速CMOS相机,让每一层薄层,都单独抓拍一张图片。
这是最重要的一步,结果能够看到发现光刻胶中的分凝胶团和杂质!
在众人注视下。
分析仪开始嗡鸣起来。
虽然众人只能看到相机频闪在不断熄灭点亮,但心却还是提了起来!
约莫两分钟后。
仪器预热准备完毕。
在实验室中心的电脑上。
关于本次测试的结果,开始逐渐显现!
一时间,众人都屏住了呼吸!
紧接着,第一层采集的结果出现!!!
【取样体积:10ml】
【统计粒径阈值:≥0.1μm】
【检测数量:1】
“轰!!!”
当看到这个结果后。
新项目组,以及谷方绪所带领的老材料组众人,都是愣在当场!!!
卧槽!?
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